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在工業(yè)生產(chǎn)中，對(duì)于平面加熱過程，保證表面溫度分布的均勻性至關(guān)重要。這一點(diǎn)對(duì)于確保產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率至關(guān)重要。而紅外線加熱技術(shù)由于其高效、均勻、可控和非接觸的特點(diǎn)，成為了解決平面加熱需求的理想選擇。在這一領(lǐng)域，LONGPRO公司推出了一系列創(chuàng)新技術(shù)，旨在實(shí)現(xiàn)平面高均勻度的紅外加熱，從而滿足不同行業(yè)的加熱需求。
LONGPRO的紅外線輻射加熱模塊通過優(yōu)化熱源燈絲內(nèi)部發(fā)光體結(jié)構(gòu)、反光板結(jié)構(gòu)以及陣列布燈，使得被加熱表面能夠接收到均勻的紅外輻射能量，從而有效降低了溫度不均勻所帶來的不良工藝質(zhì)量問題。
LONGPRO平面加熱方案
1、優(yōu)化燈絲熱能分布結(jié)構(gòu)： 通過改進(jìn)燈絲的熱能分布結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了類矩形加熱，與傳統(tǒng)的雙尖形加熱方式相比，有效減少了中間區(qū)域的熱聚集，避免了兩端溫度不均勻的問題。這一技術(shù)改進(jìn)在晶圓片、電池片、金屬片等平面材料的加熱過程中具有顯著的效果。
2、LONGPRO數(shù)據(jù)庫+光學(xué)運(yùn)算： 結(jié)合先進(jìn)的數(shù)據(jù)庫和光學(xué)運(yùn)算技術(shù)，精確計(jì)算出陣列布燈的距離與高度比例，以確保在晶圓表面均勻分布的紅外輻射能量，從而進(jìn)一步提升加熱效果。這種精密的設(shè)計(jì)能夠確保在加熱過程中不同區(qū)域的溫度分布相對(duì)均勻，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
3、背面弧形光學(xué)反光曲率設(shè)計(jì)： 采用背面弧形光學(xué)反光曲率設(shè)計(jì)，對(duì)輻照?qǐng)鲞M(jìn)行修正，進(jìn)一步提高了整個(gè)加熱場(chǎng)的均勻性。這項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用能夠有效避免不均勻的輻射熱場(chǎng)現(xiàn)象，確保加熱過程中的溫度分布更加均勻。
4、精確的溫度控制系統(tǒng)：我們配備了先進(jìn)的電控系統(tǒng)和非接觸式測(cè)溫探頭，實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制。這意味著他們能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)材料表面的溫度，快速響應(yīng)并調(diào)整加熱功率，以減少溫度過沖或不足，從而有效預(yù)防可能導(dǎo)致工藝問題的溫度波動(dòng)。這種精確的溫度控制系統(tǒng)是確保加熱過程中溫度分布均勻的關(guān)鍵。
紅外線輻照均勻，精度誤差：≤±5%
LONGPRO紅外線均勻加熱模塊在實(shí)現(xiàn)平面高均勻度加熱方面取得了顯著的進(jìn)展。通過優(yōu)化熱能分布結(jié)構(gòu)、光學(xué)運(yùn)算設(shè)計(jì)、反光曲率調(diào)整以及精確的溫度控制系統(tǒng)，他們有效解決了平面加熱過程中的溫度不均勻性問題，為工業(yè)生產(chǎn)提供了可靠的解決方案。
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